概述
PEPS?II改進并以TMC的專利PEPS?(精密電子定位系統)為基礎。 通過添加新的數字控制器,PEPS?II更易于使用,提供更多功能,并具有改進的用戶界面。 PEPS?II是***種用于TMC氣動隔振系統的數字非接觸式高度控制系統。 這種系統通常包括機械高度閥和機械高度傳感連桿。 其應用范圍從半導體制造設備到改善建立時間和提高產量,再到需要***佳噪聲性能和平臺穩定性的精密實驗室環境。
美***專利號5,832,806
特點
? 數字控制,用戶友好的LCD界面
? Z軸位置重復性精度:10um
? 用于TMC 氣浮隔振系統的數字式非接觸高度控制系統,如Gimbal Piston?、CSP?和MaxDamp?隔振系統的非接觸式電動氣動高度控制,包含控氣閥和機械高度傳感裝置。
? 通過消除傳統機械高度控制系統的杠桿接觸點改善隔振效果
? 可以調整以快速穩定由X-Y平臺引起的運動
? 可選的“VX”功能集成了慣性傳感器,用于主動阻尼垂直隔振器共振
? 隔震更敏感,可以顯著減少基于空氣隔離器的系統的自然共振峰,控制器安裝時進行設置,不需要后續設置
系統
? 四個內部伺服閥的數字控制器
? 三個渦流接近傳感器
? 傳感器外部連接到數字控制器,并用于測量有效載荷的高度,俯仰和滾動
? 可以使用電腦USB連接控制器接口進行電腦設置控制及采集數據
規格參數:
物理尺寸 | PEPS? II控制器 1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)寬 x 9.4英寸(240 mm)深 |
重量 | PEPS? II控制器:約3.0磅(1.2千克) |
環境 (參見EN 61010-1:1993, EN 61010-1/A2: 1995) | ***室內使用,***高2,000米海拔(6560英尺) ***大允許溫度范圍:5°C至35°C ***大允許濕度:31°C以下時為80%,40°C時線性降至50%相對濕度 主電源電壓容差:85 VAC - 240 VAC 過電壓類別:2 污染等***(IEC 664):2 通風要求:兩側間隙25毫米,上下間隙0毫米 |
電源要求 | 電源輸入電壓范圍:90-230 VAC 輸入頻率范圍:50-60 Hz |
PEPS? II用戶界面(前面板) | 電源開關 4個菜單按鈕 LCD顯示20 x 2個字符 2個診斷插座(BNC型) 三色狀態指示燈 USB 端口 |
PEPS? II 界面(后面板) | 帶EMI濾波器的交流電源輸入 1個空氣輸入卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道 1個空氣輸出(排氣)卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道 4個空氣卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道(每個隔振器***個) DB-25公頭輸入端-輸出端和前饋插座 1個Phoenix 0.2英寸間距6引腳綠色接頭(垂直接近傳感器) 1個Phoenix 3.5毫米間距6引腳黑色接頭(水平接近傳感器) 接地螺紋螺柱(#10-32螺紋) DB-25 F插座:1個數字輸入端,3個地震檢波器傳感器接口(“-VX”選件) DB-25 F插座:1個數字輸入端,3個電流輸出接近傳感器(可選) |
PEPS? II性能規格 | 模擬輸入(單極):8 x 12位(16位使用過采樣),0 ... 3.0 V滿量程 模擬輸入(前饋):5 x 12位 (16位使用過采樣),±9 V滿量程 模擬輸入(單極)保護:+5伏,-0.5 V限幅 模擬輸入(前饋)保護:±15伏限幅 模擬輸出:4 x 12位(16位使用采樣),0 ... 3.0 V滿量程 模擬輸出(可選):8 x 16位,0 ... 3.0 V滿量程 模擬輸出保護:無限短路保護,+5伏限幅 數字輸入電壓額定值:0 ... +3.3 V,+5 V容差(+5伏限幅) 數字輸出額定值:0 ... + 3.3 V,***大20 mA 數字I/O保護:+5伏,-0.5伏限幅 外部可用電源:+5 VDC,***大2.0 A;+15 VDC,***大1.0 A(***大20瓦) 通訊端口:USB,在PC上顯示為RS-232 處理器:ARM7TDMI / 41.78 MHz 控制回路率:100 Hz - 2.0 KHz 接近傳感器:3個垂直、(3個水平可選)渦流,NAMUR 0-20 mA輸出 速度傳感器 - 地震檢波器(“-VX”選件):3個垂直,電流輸出 |
氣動規格 | 長期高度穩定性:±50微米 長期傾斜穩定性:±50微弧度 伺服閥:4 x 雙向可變節流孔比例伺服閥 閥門技術:純甲類 ***大輸入壓力:120 PSI或8.3巴或830 KPa 標稱耗氣量:60標準升/分鐘(2標準立方英尺/分鐘) 空氣要求:潔凈、干燥的空氣,過濾至20微米或以上 故障安全:隔振器在電源故障或斷電時會放氣 氣動接頭:“***觸式”快速接頭,適用于1/4英寸外徑軟管 |
(文章來源于儀器網)
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